国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台在高交会现场举办建成发布会

2024年11月15日,备受瞩目的国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台建成发布仪式,在第二十六届中国国际高新技术成果交易会的现场隆重举行,这一里程碑事件标志着深圳在第三代半导体技术创新领域迈出了坚实的一步。发布会现场既有来自半导体行业的专家,也有市科创局、市发改委、市工信局、龙岗区政府、市重投集团、深圳市半导体行业协会、深圳市半导体和集成电路产业联盟、深圳先进电子材料国际创新研究院、电子科技大学(深圳)高等研究院、第三代半导体国创中心湖南平台的领导和嘉宾,他们的到场体现了各界对国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台建成的高度重视。

伴随着深圳综合平台建设汇报视频的播放,通过丰富的影像资料和详实的数据记录,全面展示了平台筹备到建设过程中的点点滴滴。自2021年起,根据科技部统一部署,深圳市开始承接国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台的建设任务。在2022年,设立深圳平湖实验室作为建设和运营主体。在建设过程中,始终遵循“一体统筹规划、多地分布布局、协同创新联动”的原则,聚焦第三代半导体领域器件物理研究、材料研究、技术开发、产品中试,以及第四代半导体材料器件前沿研究等多个关键方面,致力于打造一个在全球范围内具有竞争力的、涵盖创新、中试及共享功能的第三代及第四代功率半导体平台。

在现场热烈的掌声中,深圳市科技创新局 方琳 副局长登台致辞,她强调了半导体产业在国家科技发展战略中的核心地位,鼓励深圳综合平台在未来充分发挥自身优势,积极整合各方资源,不断推动半导体技术创新,为实现我国半导体产业的高质量发展做出更大的贡献。随着方琳 副局长祝贺“国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台建成”,现场嘉宾纷纷报以热烈的掌声。

深圳综合平台主任、深圳平湖实验室主任万玉喜先生随后在热切的期待中上台发言,详细回顾了深圳综合平台的建设历程并着重介绍了平台定位和未来规划。他指出,国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台作为全国首个集科研和中试于一体的8吋功率半导体开放共享平台,就像一条坚固的纽带,连接着从基础研发到工程化应用的各个环节。深圳综合平台将深深扎根于深圳及大湾区这片充满创新活力的土地,积极协同国家第三代半导体技术创新中心的其他平台、全国的高等院校、科研机构以及企业的优质资源,为半导体产业发展提供源源不断的人才供给。以前瞻性技术为引领,大力推动第三代半导体关键技术攻关,保障供应安全并积极推动成果产业化,持续提升创新能力。

作为发布会重要的成果展示环节,深圳综合平台的三大能力平台逐一揭开神秘面纱,专家代表纷纷登台亮相,详细展示了平台能力和建设成果:

其中,深圳综合平台中试线工程部贺部长登台介绍了中试线的技术优势与创新能力以及产业链布局等。目前,深圳综合平台已精心布局1200 - 6500V SiC MOSFET及15 - 1200V GaN HEMT产品及工艺平台,正在积极构建从材料制备、芯片设计、晶圆制造到封装测试的完整产业链。在产业链构建过程中,中试线与上下游企业紧密合作,全力推动协同发展,逐步形成一个良好的生态系统。此外,中试线还积极参与行业标准的制定工作,与国内外高校、研究机构深度合作,不断探索更多的应用场景。在质量控制方面建立了完善的质量控制体系,为半导体产品的高质量生产提供坚实的保障。

紧接着,深圳平湖实验室设计与仿真部王部长随后登台发布了第三代半导体功率半导体设计仿真工具链平台的最新建设进展。她着重阐述了设计与仿真工具链软件多元化对我国EDA产业生态发展的重大意义。在EDA市场,全工具链模式的国外EDA供应商具备竞争优势,但国内EDA供应商大多为点工具开发,发展相对滞后。深圳综合平台巧妙地利用自身产线的优势,搭建起了一个产学研紧密合作的国产EDA工具链公共服务平台,成功地解决了串链困难与验证困难这两大难题,这一举措对于完善我国的EDA产业生态、抢占化合物EDA工具发展的制高点具有不可忽视的战略意义。

最后,深圳平湖实验室分析检测中心主任曾威先生登台发布,宣布深圳平湖实验室分析检测中心正式启用,相较于业内其他检测中心,深圳平湖实验室分析检测中心具备业界领先的技术和优势。首先,在能力布局方面极为全面,涵盖了材料分析、微观结构分析、失效分析、电性测试、快速封装、可靠性验证等全产业链的各个环节;其次,该中心拥有一支实力强大且专业的专家团队,其中首席专家达到3名以上,博士所占的比例不少于30%,硕博所占的比例更是不少于80%,这样一支高素质的专家团队为检测中心的技术实力提供了坚实的人才支撑;再次,在合作模式上,该检测中心可以作为一个第三方检测平台,为客户提供检测、咨询、认证等多种服务,并且能够为客户定制专项解决方案,提供全面的技术支持,通过横向合作推动技术进步和产业升级。

建成发布的深圳综合平台将是粤港澳大湾区乃至全国在第三代半导体技术创新方面的核心力量,平台有助于深圳打造具有全球影响力的半导体技术创新中心、中试转化集聚中心、产业合作促进中心,支撑国家重大战略需求,在重点关键核心技术领域实现突破,重塑产业技术格局,持续推动我国半导体产业高水平、高质量发展。